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186598-40-3

中文名称 双(叔丁基氨基)硅烷
英文名称 DI(T-BUTYLAMINO)SILANE
CAS 186598-40-3
分子式 C8H22N2Si
分子量 174.36
MOL 文件 186598-40-3.mol
更新日期 2024/02/21 14:24:33
186598-40-3 结构式 186598-40-3 结构式

基本信息

中文别名
双(叔丁胺)硅烷
双(叔丁基氨基)硅烷
双(叔丁基氨基)硅烷,97+%BTBAS
N,N'-二(2-甲基-2-丙基)硅烷二胺
英文别名
BTBAS: [NH(C4H9)]2SiH2
DI(T-BUTYLAMINO)SILANE
BIS(T-BUTYLAMINO)SILANE
DI-(TERT-BUTYLAMINO)SILANE
Bis(t-butylamino)silane BTBAS
Bis(t-butylaMino)silane, 97+% BTBAS
N,N'-Bis(1,1-dimethylethyl)silanediamine
DI(T-BUTYLAMINO)SILANE ISO 9001:2015 REACH
Silanediamine, N,N'-bis(1,1-dimethylethyl)-
Dl(t-Butylamino)silane bis (tert-butylamino)silane

物理化学性质

沸点167°C
密度0,816 g/cm3
折射率1.4236
闪点30°C
酸度系数(pKa)11.91±0.70(Predicted)
形态液体
比重0.816
颜色无色
敏感性moisture sensitive, store cold
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents

常见问题列表

用途
双(叔丁基氨基)硅烷是(BTBAS)硅烷偶联剂的一种,BTBAS是化学蒸气液体化学的前躯体,可沉积均匀的氮化硅,可用于制备氮化硅薄膜,半导体器件和浅沟道隔离薄膜。
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