27804-64-4
中文名称
双(二乙基氨基)硅烷
英文名称
SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl
CAS
27804-64-4
分子式
C8H22N2Si
分子量
174.359
MOL 文件
27804-64-4.mol
更新日期
2024/03/14 10:16:16
27804-64-4 结构式
基本信息
中文别名
双(二乙基氨基)硅烷双(二乙氨基)二氢硅烷
英文别名
BDEASamino)dihydrosiL
BIS(DIETHYLAMINO)SILANE
BDEAS: SiH2[N(CH2CH3)2]2
Bis(diethylamino)silane BDEAS
bis(diethylamino)dihydrosilane
Bis(diethylamino) Silane Liquid
Bis(diethylaMino)silane, 97% BDEAS
SilanediaMide, N,N,N',N'-tetraethyl
SilanediaMine, N,N,N',N'-tetraethyl-
所属类别
有机原料：有机硅化合物物理化学性质
沸点70°C (30mm)
密度0.804
酸度系数(pKa)10.31±0.70(Predicted)
形态液体
比重0.804
颜色无色
敏感性对空气敏感，湿气敏感
水解敏感性8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
常见问题列表
用途
双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)可作为ALD膜的前驱体材料。制备
目前作为二烷基氨基硅烷的制造方法，在由氯硅烷与二烷基胺的反应而合成的方法中，除了目标二烷基氨基硅烷以外，还大量副产二烷基胺的盐酸盐，因此在获得目标二烷基氨基硅烷时，需防止由于大量溶剂所造成的体积效率降低，从而廉价地大量制造。
作为使二烷基胺与氯硅烷反应时的溶剂，使用对于反应中所副产的二烷基胺的盐酸盐及金属氯化物而言溶解度高的非质子极性溶剂，及二烷基氨基硅烷的溶解度高、难以溶解卤素化合物的直链状烃或分支状烃，藉此可体积效率高地制造卤素含量少的二烷基氨基硅烷。进行精馏，此可获得卤素含量(氯)成分低的高品质的二烷基氨基硅烷。现有专利及文献技术所使用双(二乙基氨基)硅烷 (BDEAS)精制，大多使用精馏方式，双(二乙基氨基)硅烷纯度难以超过99.99%。?健康危害
急性毒性 - 口服 - 类别3
急性毒性 - 吸入 - 粉尘/气雾 - 类别4
急性毒性 - 吸入 - 蒸气 - 类别4
急性毒性 - 吸入 - 气体 - 类别4