六甲基二硅胺 MSDS六甲基二硅烷胺
六甲基二硅胺(六甲基二硅氮烷)是化学物质,为无色透明液体,英文缩写HMDS,是一种重要的有机硅化合物。沸点125℃,相对密度0.76(20/4℃)。溶于有机溶剂,与空气接触会迅速被水解生成三甲硅烷醇和六甲基二硅醚。易水解,放出NH3,生成六甲基二硅醚。该化合物有中等毒性,遇明火、高温、氧化剂等易燃;遇水分解有毒硅化物气体,燃烧产生有毒氮氧化物烟雾。需要与氧化剂、酸类分开存放。
六甲基二硅胺主要用作烷基化甲基硅烷(如阿米卡星、青霉素、头孢菌素及各种青霉素衍生物)、抗生素的羟基保护剂;在半导体工业中用作硅藻土、白炭黑、钛及光刻胶的金色添加剂的表面处理剂;用作抗撕裂强度处理剂;在有机合成和有机金属化学中用作溶剂;在光刻中用作光刻胶的附着力促进剂。它用于从羟基化合物制备三甲基硅醚,也被用作电子显微镜样品制备过程中临界点干燥的替代方法。在气相色谱-质谱法裂解过程中,作为在分析物中加入硅基化的诊断产物。