钨腐蚀剂
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- CAS号:
- 英文名:
- TUNGSTEN ETCH
- 英文别名:
- TUNGSTEN ETCH;TUNGSTEN ETCHANT
- 中文名:
- 钨腐蚀剂
- 中文别名:
- 钨腐蚀剂;钨蚀刻剂
- CBNumber:
- CB8849199
- 分子式:
- 分子量:
- 0
- MOL File:
- Mol file
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钨腐蚀剂性质、用途与生产工艺
用途
半导体和微电子学技术中用于钨薄膜金属喷镀的选择性蚀刻剂。该蚀刻剂是以铁氰化盐为基础的弱碱性缓冲制剂，可提供高分辨率图案，侧蚀最低，并且具有光致抗蚀剂相容性。通过浸渍或喷洒蚀刻技术可实现可控的均匀蚀刻。
钨腐蚀剂
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