N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン

￥26900 - ￥268800
化学名: N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン
英語名: TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE
別名:N,N',N''-シラントリイルトリス(ジメチルアミン);N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン;トリス(ジメチルアミノ)シラン;N,N,N',N',N'',N''-ヘキサメチルシラントリアミン;N,N',N''-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン);N，N，N’，N’，N’’，N’’-ヘキサメチルシラントリアミン;TRIS(DIMETHYLAMINO)SILANE, 99+%, 3DMAS (99.999%-SI) PURATREM, 14-8750, CONTAINED IN 50 ML SWAGELOK® CYLINDER (96-1070) FOR CVD/ALD;トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM;トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD;N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリイルトリアミン;N,N,N′,N′,N′′,N′′-ヘキサメチルシラントリアミン;N,N′,N′′-(シラントリイル)トリス(ジメチルアミン);N,N′,N′′-シラントリイルトリス(ジメチルアミン);[ビス(ジメチルアミノ)シリル]ジメチルアミン
CAS番号: 15112-89-7
分子式: C6H19N3Si
分子量: 161.32
EINECS:239-165-0
MDL Number:MFCD00048006

価格8 プロパティ安全情報説明

8物価

選択条件：

ブランド

富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
Sigma-Aldrich Japan

パッケージ

5g
10g
25g
100g

生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
製品番号W01S04LS-1460
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン
英語製品説明Tris(dimethylamino)silane
包装単位100g
価格￥268800
更新しました2021-03-23
購入

生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
製品番号W01SRM98-4035
製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD
英語製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD
包装単位25g
価格￥265200
更新しました2021-03-23
購入

生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
製品番号W01SRM14-8750
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
英語製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
包装単位25g
価格￥92000
更新しました2024-03-01
購入

生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
製品番号W01S04LS-1460
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン
英語製品説明Tris(dimethylamino)silane
包装単位25g
価格￥67200
更新しました2021-03-23
購入

生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
製品番号W01SRM14-8750
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
英語製品説明Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM
包装単位5g
価格￥32300
更新しました2024-03-01
購入

生産者富士フイルム和光純薬株式会社(wako)
製品番号W01S04LS-1460
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン
英語製品説明Tris(dimethylamino)silane
包装単位10g
価格￥26900
更新しました2021-03-23
購入

生産者Sigma-Aldrich Japan
製品番号570133
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン electronic grade, 99.999%
英語製品説明Tris(dimethylamino)silane electronic grade, 99.999%
包装単位25g
価格￥27200
更新しました2024-03-01
購入

生産者Sigma-Aldrich Japan
製品番号759562
製品説明トリス(ジメチルアミノ)シラン packaged for use in deposition systems
英語製品説明Tris(dimethylamino)silane packaged for use in deposition systems
包装単位25g
価格￥127000
更新しました2024-03-01
購入

生産者	製品番号	製品説明	包装単位	価格	更新時間	購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako)	W01S04LS-1460	トリス(ジメチルアミノ)シラン Tris(dimethylamino)silane	100g	￥268800	2021-03-23	購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako)	W01SRM98-4035	Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok® cylinder (96-1070) for CVD/ALD Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM, 14-8750, contained in 50 ml Swagelok? cylinder (96-1070) for CVD/ALD	25g	￥265200	2021-03-23	購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako)	W01SRM14-8750	トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM	25g	￥92000	2024-03-01	購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako)	W01S04LS-1460	トリス(ジメチルアミノ)シラン Tris(dimethylamino)silane	25g	￥67200	2021-03-23	購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako)	W01SRM14-8750	トリス(ジメチルアミノ)シラン, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM Tris(dimethylamino)silane, 99+%, 3DMAS (99.999%-Si) PURATREM	5g	￥32300	2024-03-01	購入
富士フイルム和光純薬株式会社(wako)	W01S04LS-1460	トリス(ジメチルアミノ)シラン Tris(dimethylamino)silane	10g	￥26900	2021-03-23	購入
Sigma-Aldrich Japan	570133	トリス(ジメチルアミノ)シラン electronic grade, 99.999% Tris(dimethylamino)silane electronic grade, 99.999%	25g	￥27200	2024-03-01	購入
Sigma-Aldrich Japan	759562	トリス(ジメチルアミノ)シラン packaged for use in deposition systems Tris(dimethylamino)silane packaged for use in deposition systems	25g	￥127000	2024-03-01	購入

プロパティ

融点 :<0°C
沸点 :145 °C
比重(密度) :0,838 g/cm³
屈折率 :1.4247
闪点 :25°C
酸解離定数(Pka) :10.93±0.70(Predicted)
外見 :liquid
色 :colorless to light yellow
比重 :0.84
Sensitive :air sensitive, moisture sensitive
Hydrolytic Sensitivity :8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
EPAの化学物質情報 :N,N,N',N',N'',N''-Hexamethylsilanetriamine (15112-89-7)

安全情報

絵表示(GHS):

注意喚起語:

Danger

危険有害性情報:

コード	危険有害性情報	危険有害性クラス	区分	注意喚起語	P コード
H225	引火性の高い液体および蒸気	引火性液体	2	危険	P210,P233, P240, P241, P242, P243,P280, P303+ P361+P353, P370+P378,P403+P235, P501
H261	水に触れると可燃性/引火性ガスを発生	水反応可燃性化学品	2 3	危険警告	P231+P232, P280, P370+P378,P402+P404, P501
H302	飲み込むと有害	急性毒性、経口	4	警告	P264, P270, P301+P312, P330, P501
H311	皮膚に接触すると有毒	急性毒性、経皮	3	危険	P280, P302+P352, P312, P322, P361,P363, P405, P501
H314	重篤な皮膚の薬傷?眼の損傷	皮膚腐食性/刺激性	1A, B, C	危険	P260,P264, P280, P301+P330+ P331,P303+P361+P353, P363, P304+P340,P310, P321, P305+ P351+P338, P405,P501
H330	吸入すると生命に危険	急性毒性、吸入	1, 2	危険	P260, P271, P284, P304+P340, P310,P320, P403+P233, P405, P501

注意書き:

P210	熱/火花/裸火/高温のもののような着火源から遠ざけること。－禁煙。
P231+P232	湿気を遮断し、不活性ガス下で取り扱うこと。
P280	保護手袋/保護衣/保護眼鏡/保護面を着用すること。
P303+P361+P353	皮膚（または髪）に付着した場合：直ちに汚染された衣類をすべて脱ぐこと/取り除くこと。皮膚を流水/シャワーで洗うこと。
P305+P351+P338	眼に入った場合：水で数分間注意深く洗うこと。次にコンタクトレンズを着用していて容易に外せる場合は外すこと。その後も洗浄を続けること。

説明

Tris(dimethylamino)silane (TDMAS) is used as an organosilicon source for the deposition of Si oxynitride; carbonitride; nitride and oxide thin films. It is also used to form multicomponent silicon containing thin films. The depositions can be carried out at low substrate temperatures (<150). The melting point and vapor pressure of TDMAS is in a suitable working range; thus making it a very good vapor deposition precursor.

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