氮化硅、氮化镓或氧化铝膜的选择性蚀刻剂TRANSETCH — N,TRANSETCH — N
  • 氮化硅、氮化镓或氧化铝膜的选择性蚀刻剂TRANSETCH — N,TRANSETCH — N

氮化硅、氮化镓或氧化铝膜的选择性蚀刻剂TRANSETCH — N

价格 询价
包装 1加仑
最小起订量 1加仑
发货地 山东
更新日期 2022-05-06

产品详情

中文名称:氮化硅、氮化镓或氧化铝膜的选择性蚀刻剂TRANSETCH — N英文名称:TRANSETCH — N
保存条件: 常温避光通风保存产品类别: 蚀刻剂
2022-05-06 氮化硅、氮化镓或氧化铝膜的选择性蚀刻剂TRANSETCH — N TRANSETCH — N 1加仑/RMB 常温避光通风保存 蚀刻剂


TRANSETCH — N
(氮化硅、氮化镓或氧化铝膜的选择性蚀刻剂)
 
新半导体技术中氮化硅[Si3N4]、氮化镓[GaN]或氧化铝[Al2O3]膜的快速可控蚀刻。
 
独特的优点
 
· 使用方便
· 选择蚀刻氮化硅、氮化镓或氧化铝膜
 · 可反复使用,作用不会随使用而减少
 · 不产生毒性烟雾,不需要使用通风橱
 · 实际上消除了上蚀或下蚀现象
 · 保证硅半导体部件的平面钝化
 
 
说明
 
Transetch—N是用正磷酸制备的纯试剂,它可以在硅或氧化硅存在下实现氮化硅或氧化铝的选择蚀刻。使用它在膜上蚀刻的开口其分辨率和普通平面技术对SiO2所得到的分辨率相当,但同时对暴露的硅和二氧化硅表面基本上没有不良影响。使用它时,对光刻胶、工艺的要求基本上和常惯蚀刻操作过程一样,额外要求很少,而且成本不高。
Transetch—N不含氟化物。与氟化物基的蚀刻剂不同,TRANSETCH—N不造成下蚀现象,因此在选择蚀刻时间方面具有宽的安全活动余地。Transetch—N性质稳定,使用寿命长。
 
物理性质
 
液体无色、无味沸点(释水)180℃比重,20℃1.757蚀刻速率,180℃: 氧化铝120 Å/分氮化硅125 Å/分氮化镓80 Å/分二氧化硅1 Å/分硅1 Å/分
 
 
 
 
 
应用
 
TRANSETCH—N用于以沉积Si3N4和Al2O3为基础的半导体部件的表面钝化新技术。这一新技术可以生产高质量的可靠的半导体产品,尤其有利于MOS和MIS装置的稳定化。实际上消除了逆温层和离子迁移:漏泄电流通路理论;表面状态得到很好控制。
 
 
指导意见
 
TRANSETCH—N能很好应用于作为沉积膜的掩盖层的沉积SiO2的蚀刻层。当刚刚沉积了钝化膜之后,便能很方便地加上SiO2膜层。为此目的1000 Å的厚度通常便足够了。
用通常的工艺过程在光刻胶和沉积SiO2上得到需蚀刻的开口路线的图案。然后用铬酸—硫酸涂膜消除剂去除光刻胶。将去除光刻胶并冲洗过的基片置于煮沸的TRANSETCH—N液中一段时间,以便允许以每分钟100 Å的速率进行蚀刻过程。而后用冲洗掉所有残余的蚀刻液。这里需要注意的是,要将TRANSETCH—N的沸点稳定地保持在180℃。这就需要把其中水的蒸发量控制到最低。随时可以添加少量蒸馏水,以保证TRANSETCH—N液的沸点不超过180℃。



关键字: 氮化硅、氮化镓或氧化铝蚀刻剂 蚀刻液;

公司简介

美国Transene蚀刻剂(蚀刻液,腐蚀液)中国供应商。金蚀刻剂8148,TFA;钽蚀刻剂SIE—8607;铝蚀刻剂,A型; 银蚀刻剂TFS;钯蚀刻剂TFP;铬蚀刻剂1020;加HF改进的缓冲剂;BOE; Transene 超声洗涤剂TUD;镍蚀刻剂TFB;氮化钽蚀刻剂;钛蚀刻剂TFT;铜蚀刻剂;镍铬蚀刻剂TFC和TFN;TFM钼蚀刻和TFW钨蚀刻剂;半导体蚀刻剂;氧化锡/铟锡蚀刻剂TE100;
成立日期 2016-09-21 (9年) 注册资本 100.000000万
员工人数 10-50人 年营业额 ¥ 100万以内
主营行业 化学试剂,医药中间体,合成材料中间体,其他中间体,液晶中间体 经营模式 贸易,工厂,试剂,定制,服务
  • 烟台科瑞尔化学科技有限公司
非会员
  • 公司成立:9年
  • 注册资本:100.000000万
  • 企业类型:有限责任公司
  • 主营产品:吩嗪 酰胺类 等
  • 公司地址:山东省烟台市芝罘区海港路29号1506室
询盘

氮化硅、氮化镓或氧化铝膜的选择性蚀刻剂TRANSETCH — N相关厂家报价

产品名称 价格   公司名称 报价日期
询价
VIP2年
宝鸡福诺康实业有限公司
2024-09-18
询价
VIP7年
天元航材(营口)科技股份有限公司
2024-09-18
询价
VIP2年
安徽科润纳米科技有限公司
2024-09-18
内容声明:
以上所展示的信息由商家自行提供,内容的真实性、准确性和合法性由发布商家负责。 商家发布价格指该商品的参考价格,并非原价,该价格可能随着市场变化,或是由于您购买数量不同或所选规格不同而发生变化。最终成交价格,请咨询商家,以实际成交价格为准。请意识到互联网交易中的风险是客观存在的
主页 | 企业会员服务 | 广告业务 | 联系我们 | 旧版入口 | 中文MSDS | CAS Index | 常用化学品CAS列表 | 化工产品目录 | 新产品列表 |投诉中心
Copyright © 2008 ChemicalBook 京ICP备07040585号  京公海网安备110108000080号  All rights reserved.
400-158-6606