氧化锡/铟锡蚀刻剂TE100
氧化铟锡膜在制备时,先沉积一层铟—锡膜。然后将铟—锡膜用氧等离子体氧化,或在较高温度下在一个氧化氛中氧化。当进行蚀刻时,铟以三价水络合物[In(H2O)6]3+的形式溶解,而锡则生成[SnCl6]2-阴离子。
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