无色,有毒,不燃烧的腐蚀性液体。 应用 在半导体生产中用于P型半导体的扩散源;离子注入;等离子刻蚀金属。用于多种化学反应。 分子量 117.17 比重 (Air=1) 4.03
比容 0.21m3/kg@21.1ºC, 101.325kPa 气味 辛辣的,刺激性 CAS Registry No. 10294-34-5
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