1857年德国化学家H Buff发现硅烷,在以后的100年左右的时间里硅烷只是少数研究者在实验室里研究的对象,没有任何用途。20世纪50年代半导体科技崛起,人们开始考虑硅烷的特长,硅烷开始在电子工业中得到应用。进入80年代, 硅烷的应用情况发生了重大变化。随着一系列新技术的出现或者说利用硅烷开发新产品的成功,硅烷用量急剧增加。每年数以千吨计的硅烷在工厂里被加工成超纯半导体硅,数以百吨计的气体被用于制造各种各样的新材料和新器件。考虑到在这些应用中大多数器件每个所耗用的气体量只有毫克甚至微克,由硅烷制成的薄膜厚度都是微米数量级,可见上述硅烷量不是一个小的数字。进入90年代, 更大量的新功能器件问世,其中已大规模开发的有超高速、超大容量计算机芯片、高清晰度平面显示器、高效率低成本太阳能电池、高性能陶瓷发动机零件、各种特异功能的传感器等等,更多更新的器件还在涌现,这些器件都要用到硅烷。
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