PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)是一种多用途的聚合物材料,非常适合于许多成像和非成像微电子应用。
PMMA最常用作直接写入电子束以及X射线和深紫外微光刻工艺的高分辨率正抗蚀剂。PMMA还用作晶片减薄的保护涂层、粘合粘合剂和牺牲层。
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