因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro
上海伯东德国 Pfeiffer 残余气体分析仪(四级杆质谱仪)集高灵敏度, 高稳定性和智能操作于一体, 配置新一代的操作软件 PV MassSpec, 可定量定性评估真空系统中的残余气体成分. 最低可检测分压 3 X10-15 hPa.
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 特性:
模块化设计保证兼容性, JSON 编程界面和多种接口易于系统集成
分析仪器和电子单元可灵活互换
双灯丝延长工作时间
最低可检测分压 3 X10-15 hPa
可直接连接真空计, 方便测量压力
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 技术参数:
型号 | QMG 250 F1 | QMG 250 F2 | QMG 250 F3 | QMG 250 M1 | QMG 250 M2 | QMG 250 M3 |
检测器 | 法拉第 Faraday (F) | 电子倍增器/法拉第 C-SEM / Faraday (M) |
质量数 amu | 1–100 | 1–200 | 1–300 | 1–100 | 1–200 | 1–300 |
四极杆直径／长度 | 6 / 125 mm |
最小检测极限 F hPa *1,2 | 4X10-13 | 5X10-13 | 7X10-13 | - | - | - |
最小检测极限 M hPa *1,2 | - | - | - | 3X10-15 | 4X10-15 | 5X10-15 |
对Ar的灵敏度 F A/hPa*3 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 | 5X10-4 | 4X10-4 | 3X10-4 |
工作压力 F hPa | 5X10-4 |
工作压力 M hPa | - | - | - | 5X10-5 | 5X10-5 | 5X10-5 |
对临近质量数的影响*1 | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm | < 10 ppm | < 20 ppm | < 50 ppm |
操作温度 分析 | 200 °C (max. 150 °C when operating with SEM) |
操作温度 电子 | 5 – 50 °C |
烘烤温度 分析 | 300 °C |
连接法兰 | DN 40 CF-F |
保压时间 | 1 ms – 16 s/amu |
重量 | 2.5 kg | 3.2 kg |
* 1 开放式离子源,
* 2 停留时间 4秒
*3 与 C-SEM相比, 具有较高的灵敏度
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 标准通讯接口:
Pfeiffer 残余气体分析仪 PrismaPro 可扩展的通讯接口:
若您需要进一步的了解详细信息或讨论, 请参考以下联络方式：
上海伯东：叶小姐 台湾伯东：王小姐
T: +86-21-5046-3511 ext 107 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490 F: +886-3-567-0049
M: +86 1391-883-7267 M: +886-939-653-958
qq:2821409400
关键字： 残余气体分析仪;气体分析仪;质谱分析仪;四极杆质谱;
伯东公司成立于1953 年，全球范围内有一千七百名员工。伯东企业(上海)有限公司(www.hakuto-vacuum.cn)主要从事半导体设备、电子零部件加工、销售及相关服务工作，集团年营业额约为100亿人民币。伯东公司在国内主要城市：北京、苏州、广州、深圳、成都及厦门设有营业据点。
上海伯东真空产品事业部秉承为广大中国客户提供世界一流的真空产品、推动中国真空工艺发展、承担企业社会责任为经营理念，已累计为超过10,000家企业提供真空服务，覆盖工业、半导体、镀膜、科研和分析行业。
上海伯东代理品牌包含：德国Pfeiffer 全系列真空产品、美国 KRI 离子源、美国Polycold 制冷机，美国HVA 真空阀门，美国 inTEST(Temptronic)高速温度循环测试机，离子蚀刻机，真空镀膜系统及配套真空零配件等。
上海伯东作为国际知名真空品牌指定授权代理商，全权负责在中国地区的销售和维修服务，100% 使用原厂进口零部件以及国外受训维修工程师；拥有完全的拆解，维修，校正能力并提供24小时在线服务。