硅烷混合气:浓度在0.5-50%,平衡气是:Ar,N2,He,H2. 压力5-12Mpa.容积4-47L。阀门可根据用户要求提供。
硅烷气是太阳能电池生产过程中不可或缺的材料,因为它是将硅分子附着于电池表面的最有效方式。在高于400℃的环境下,硅烷气分解成气态硅和氢气。氢气燃烧后,剩下的就是纯硅了。此外,硅烷气可以说是无处不在。除了光伏产业外,还有很多制造工厂需要用到硅烷气,如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂。
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