电子级三氯氧磷
CAS:10025-87-3
一、分子式:POCl3
二、分子量:153.33
三、理化性质
无色透明挥发性液体,具有强烈的刺激性气味。易水解于潮湿的空气中,生成磷酸和盐酸。熔点为1.25℃,沸点为105.1℃,密度为1.675 g/mL。蒸发热33.7kJ/mol。接近300℃时,仍很稳定。遇到大量水时会发生爆炸。有毒性和腐蚀性。
四、用途
主要用于芯片的N型掺杂,是制作集成电路、太阳能电池、光纤预制棒、分离器件等的液态磷源,是芯片制程中必须的电子化学品,同时电子级三氯氧磷也是制作高纯磷酸酯的原料。
五、包装
容器:高纯石英源瓶、镀膜高纯石英源瓶
外包装:容器外套厚质PVC塑料袋;PE专用箱内置海绵缓冲垫
规格:500ml、1000ml、1500ml,4.5L,5L也可根据客户的要求进行包装
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