中文名称:米吡氯铵中文别名:咪吡氯铵CAS No:2748-88-1EINECS号:220-387-1分子式:C20H36ClN沸点:°Cat760mmHg用途:在湿式蚀刻或干式蚀刻之后的洗涤工序中,使用含有选自具有碳原子数12、碳原子数14或碳原子数16的烷基的咪唑鎓卤化物、具有碳原子数14或碳原子数16的烷基的吡啶鎓卤化物和具有碳原子数16或碳原子数18的烷基的卤化铵中的至少一种及水的用于抑制微细结构体的图案倒塌的处理液。
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