中文名:氟化钽(V)
英文名:Tantalum(V) fluoride
英文别名:Tantalum pentafluoride|Tantalum(V) fluoride|7783-71-3|pentafluorotantalum|Tantalum fluoride (TaF5)|MFCD00042542|EINECS 232-022-3|UNII-QAG1W735WO|Tantalum(V)fluoride|TaF5|Tantalum(V) fluoride, 98%|Tantalum(V) fluoride, 99.9% (metals basis)|Q2615425
纯度:99.5% (metals basis)
货号:T283512
包装:25g、5g、1g
Cas号:7783-71-3
存储温度:充氩
产品介绍:
产品介绍
五氟化钽(TaF5),常温下是一种白色结晶,折光能力强。五氟化钽微溶于热的二硫化碳和四氯化碳溶液中,溶于水和乙醚、氢氟酸、硝酸、发烟硝酸,在空气中吸湿而不水解。高纯五氟化钽在微电子工业中用作化学气相淀积硅化钽或钽膜,制作低电阻、高熔点的电路互连线和栅极。五氟化钽在电子元器件表面、半导体器件表面、钛及金属氮化物电极表面、金属钨表面上,可形成附着力极强、厚度为0.1μm级的绝缘薄膜,具有高的介电率。
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