中文名：六氯乙硅烷
英文名：Hexachlorodisilane
中文别名：六氯化二硅 | 1,1,1,2,2,2-六氯二硅烷
英文别名：perchlorodisilane | J-006570 | 9Z754456JM | Q15546028 | Disilicon hexachloride | Hexachlorodisilane, 96% | MFCD00011599 | AKOS015848623 | 1,1,1,2,2,2-Hexachlorodisilane | Si2Cl6 | Disilane, 1,1,1,2,2,2-hexachloro- | Hexachlorodisilane | hexachloro-disilan
纯度：>98.0%(T)
货号：H157333
包装：25g、5g、1g
Cas号：13465-77-5
存储温度：-20°C储存,充氩
产品介绍：
六氯乙硅烷（HCDS）是一种氯硅烷，可用作生产乙硅烷的前体。它是一种用于生产硅膜和氮化硅基膜的脱氧剂
应用：
HCDS可用于通过化学气相沉积（CVD）制备二氧化硅气凝胶，其有望用作封装剂和绝热体。它也可用于通过CVD合成1,1,1,2,2,2-六氨基乙硅烷，其可形成微电子应用的硅基薄膜。
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关键字： 六氯化二硅 ; 1,1,1,2,2,2-六氯二硅烷;perchlorodisilane ; J-006570
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