三氟乙酰氟具有刻蚀速率快、高深宽比、高选择性的优点,可以实现近乎垂直的刻蚀加工,为制造小体积、大容量的3D NAND闪存提供了可能;同时三氟乙酰氟环境友好,GWP < 1,大气寿命6.9天,温室效应很低,是当前兼具优异刻蚀性能和环保性能的含氟电子刻蚀气之一。
随着全球气候变化问题日益凸显,越来越多的国家提出了无碳未来的愿景。2023年,欧盟委员会和欧盟议会达成协议,到2050年,HFCs(氢氟烃)的消费将逐步被完全淘汰。根据欧盟委员会分配的生产权,HFCs的生产将在2036年之前逐步降至最低,达到15%。针对小型家用和热泵设备方面,从2027年开始,欧盟将开始全面禁止使用GWP值大于150的HFCs的小型(<12 kW)单体式热泵设备和空调,并在2032年实现完全淘汰。另外,根据今年美国环保署(EPA)的最新提案,从2025年开始,所有常见的较高GWP值的HFCs制冷剂,包括HFC-134a、HFC-404A、HFC-410A等,在大多数的空调中都将被禁用。因此,开发GWP更低、稳定、安全的制冷剂仍是制冷行业亟需解决的问题。
三氟乙酰氟可与其他组分混合,组成一种低GWP值的制冷剂,使得组合物的GWP≤150,从而满足碳减排、碳中和的相关要求。
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