甲基氯硅烷是合成有机硅高分子化合物的主要单体。二甲基二氯硅烷用于制硅油、硅橡胶和硅树脂;一甲基二氯硅烷用于制织物防潮剂及其他有机单体;三甲基一氯硅烷作为硅油的封头等,甲基三氯硅烷用作硅树脂等。这些制品广泛用于防潮电器绝缘材料、层压制品、涂料、润滑油、建筑材料等
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