常用名 N,N-二甲基-1,4-苯二胺 二甲基对苯二胺常用名 四甲基氢氧化铵别 名 四甲基氢氧化铵溶液 | 显影液TMAH英文名 Tetramethylammonium hydroxideCAS号 75-59-2 EINECS 200-882-9分子式 C4H13NO 分子量 91.152密 度 0.866 g/mL 沸 点 110 °C熔 点 62-71°C闪 点 80 °F性 状 无色结晶溶解性 溶于水和乙醇等用 途 1.在分析方面,四甲基氢氧化铵作为谱试剂2.在有机硅方面,四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油,氨基硅油,苯甲基硅油,有机硅扩散泵油,无溶剂有硅模塑料,有机硅树脂,硅橡胶等的催化剂;3.在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素; 4.在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。5.在电路板的印刷和显微镜片的制造中,可作为集成电路板的清洗剂和半导体微加工技术中si-sio2界面的各向异性腐蚀剂。6.用作CMP过程清洗剂,IC.vlsi及TFI-LCD正胶显影剂。
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