片状氧化铝(平板状氧化铝)抛光粉
片状氧化铝又称平板状氧化铝抛光粉,它的用途是晶圆的抛光研磨表面处理。平板状氧化铝其实是一种通过特殊方法进行长晶的煅烧氧化铝。其煅烧温度问1200度,制成的氧化铝呈片状堆积形态。通过破碎和水洗工艺,将片状氧化铝粉进行分层,制成氧化铝纯度和清洁度更高,颗粒集中度窄、易分散的片状氧化铝微粉。不同的煅烧工艺对片状氧化铝的质量影响很大,质量好的平板状氧化铝晶体结构平整,磨削面无凹凸,颗粒致密度高,硬度高,易分散不会团聚,因此不会对硅片和晶圆造成损伤。片状氧化铝的晶体厚度为2-3um,颗粒直径3-50um。
片状氧化铝/平板状氧化铝的特点:
1. 海旭磨料生产的片状氧化铝对标进口产品,可以达到进口片状氧化铝粉的研磨效果。
2. 晶型平整无棱角,研磨时磨粒于工件之间产生平面滑动效果,不易产生划痕。
3. 硬度高,磨削力强。片状氧化铝具有类似于刚玉的α-Al2O3晶相,适用与大多数材料的研磨和抛光。
4. 磁性物含量低,清洁度高,粒径一致性高。
5. 熔点高,机械强度高,磨削效率高。
6. 颗粒大小可控,3-50微米均可获得。
7. 颗粒的平整性使片状氧化铝粉体易于分散,适合制成研磨剂或研磨液。
8. 耐腐蚀、化学稳定性强、抗氧化性能优越,不会于研磨液中的液体介质发生反应。
9. 比表面积大,表面活性和附着力由于电熔刚玉。
10. 片状氧化铝易于分散,粉体不易团聚在晶圆表面造成堆积,影响抛光平整度。
化学成分:
Al2O3
≥99.0%
SiO2
<0.2
Fe2O3
<0.1
Na2O
<1
物理性能:
化学成分
α-Al2O3
颜色
白色
比重
≥3.9g/cm3
莫氏硬度
9.0
生产规格:
型号
D3(um)
D50(um)
D94(um)
HXTA40
39-44.6
27.7-31.7
18-20
HXTA35
35.4-39.8
23.8-27.2
15-17
HXTA30
28.1-32.3
19.2-22.3
13.4-15.6
HXTA25
24.4-28.2
16.1-18.7
9.6-11.2
HXTA20
20.9-24.1
13.1-15.3
8.2-9.8
HXTA15
14.8-17.2
9.4-11
5.8-6.8
HXTA12
11.8-13.8
7.6-8.8
4.5-5.3
HXTA09
8.9-10.5
5.9-6.9
3.3-3.9
HXTA05
6.6-7.8
4.3-5.1
2.55-3.05
HXTA03
4.8-5.6
2.8-3.4
1.5-2.1
产品包装:
郑州市海旭磨料有限公司
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