aladdin 阿拉丁 B487578 缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 6:1

中文名：缓冲氧化物蚀刻剂 (BOE) 6:1

英文名：Buffered oxide etchant (BOE) 6:1

中文别名：缓冲HF

货号：B487578

包装：1l

产品介绍：

描述

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）是一种用于微细加工的液体腐蚀剂。它的主要用途是蚀刻二氧化硅（SiO2）或氮化硅（Si3N4）的薄膜。它是氟化铵（NH4F）和氢氟酸（HF）等缓冲液的混合物。浓缩的 HF 蚀刻二氧化硅的速度太快，不能很好地进行工艺控制，同时也会剥落用于光刻图案化的光刻胶。BOE 6:1 is 6 parts by volume 40% ammonium fluoride and 1 part by volume 49% HF.

应用

缓冲氧化物蚀刻剂（BOE）6：1可用于栅极光刻（gate photolithography）的AlGaN / GaN基高电子迁移率晶体管的氧化物去除。它可用于缓冲氧化物蚀刻剂法，制造微型生物芯片。

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