用于制取磷酸二苯-异辛酯、磷酸三乙酯等磷酸酯,塑料增塑剂,有机磷农药,长效磺胺药物等。还可用作染料中间体,有机合成的氯化剂和催化剂,阻燃剂。
电子级三氯氧磷的用途在太阳能行业,集成电路,分离器件,光线预制棒等液态磷源也可制备磷酸酯。
在半导体行业主要用于N型掺杂源,在0℃反应效果最好。
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