简介三甲基硅烷或三甲基硅化氢,是一种有机硅化合物。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。化学性质三甲基硅烷是具有刺鼻气味的无色液体,其蒸汽比空气重,可能沿地面流动,造成远处着火。用途三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料,其用途逐渐扩大。
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