钛蚀刻剂 TFT

钛蚀刻剂是应用于半导体制作和薄膜微电子技术的选择性控制蚀刻剂。

 

钛蚀刻剂TFT是设计用来蚀刻通常在微电子产品中作为连结层和阻挡层的蒸发法薄膜的蚀刻剂。这种蚀刻剂光刻胶匹配性良好、分辨率高、边下蚀现象低。

 

钛蚀刻剂TFTN用来蚀刻玻璃或SiO₂基板上的Ti沉积膜。TFTN并不含有氢氟酸。

 

 

 

*KPR/KMER/KTFR：PKP(Transene)；AZ/RISTON/ETC.

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