常用名 四甲基氢氧化铵 别 名 四甲基氢氧化铵溶液 | 显影液TMAH 英文名 Tetramethylammonium hydroxide CAS号 75-59-2 EINECS 200-882-9 分子式 C4H13NO 分子量 91.152 密 度 0.866 g/mL 沸 点 110 °C 熔 点 62-71°C 闪 点 80 °F 性 状 无色结晶 用 途 1.用作极谱分析试剂 2.用作计算机硅片面的光亮剂、触刻剂等 3.在电子行业中,广泛用作硅晶片蚀刻剂、清洗剂、正胶显影剂等
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郑经理