光致产酸剂 用于KrF,ArF 光刻胶产
不挥发成分(%)98.0以上
游离甲醛(%)0.1以下
单量体(%)95.0以下
金属离子含有量(ppm)
钠 0.2以下
铁0.2以下
钙0.2以下
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