3M氟化液FC-40是无色透明全氟化学品,具有良好的化学惰性、电气绝缘性能、热传导性和独特的第表面张力广泛应用于半导体制造厂作为热传导介质。其液体温度范围为-57°C 至 155°C,主要应用于蚀刻设备、离子注入设备、测试设备及其他设备。因为FC-40是单一组分,所以其成分不好出现降解或者过期。FC-40沸点高,其随时间的挥发也比较少
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