六甲基二硅胺烷
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分 子 式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分 子 量 161.39
性 状 无色透明液体、无毒、略带胺味
别 名 双(三甲基硅)胺烷
密度(25℃)g/cm3:0.770—0.780 折光率():1.408±0.002
六甲基二硅氮烷含量(%):≥99.0 六甲基二硅氧烷含量(%):≤0.7
三甲基硅醇含量%:≤ 0.3 闪点:27℃
沸点:126℃ 色度:≤10
用 途:特种有机合成。阿米卡星、盘尼西林、头孢霉素、氟尿嘧啶及各种青霉素衍生物等合成过程中的甲硅烷基化。硅藻土、白炭黑、钛等粉末的表面处理。半导体工业中光致刻蚀剂的粘结助剂。
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