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993-07-7

中文名称 三甲基硅烷
英文名称 TRIMETHYLSILANE
CAS 993-07-7
分子式 C3H10Si
分子量 74.2
MOL 文件 993-07-7.mol
993-07-7 结构式 993-07-7 结构式

基本信息

中文别名
三甲基硅烷
英文别名
Silane, trimethyl-
(CH3)3SiH
trimethyl-silan
TRIMETHYLSILANE
trimethylsilicon
SILICON TRIMETHYL
Trimethylsilane,97%
Trimethylsilane 99.9%
2-Methyl-2-silapropane
Trimethylsilane 99.99%
所属类别
化学试剂：硅烷试剂

物理化学性质

熔点-135,9°C
沸点6,7°C
密度0,638 g/cm3
折射率1.3800 (estimate)
闪点<-29°C
形态液体
比重0.638
水溶解性1.4g/L at 20℃
水解敏感性3: reacts with aqueous base
LogP2.2 at 20℃
CAS 数据库993-07-7
EPA化学物质信息Silane, trimethyl- (993-07-7)

安全数据

危险性符号(GHS)
GHS02,GHS04,GHS07
警示词危险
危险性描述H220-H315-H319-H335
防范说明P210-P280-P321
危险类别码12-36/37/38
安全说明9-16-26-33
危险品运输编号3161
TSCAYes
海关编码2931900050

上下游产品信息

上游原料
三苯基硅烷叔丁氧基三甲基硅烷叔丁醇钾
下游产品
阿昔洛韦头孢特仑新戊酯四(三甲基硅氧基)硅烷2-(三甲基硅基)噻吩苯基三(三甲基硅氧烷基)硅烷二甲基硅烷三甲基氯硅烷

常见问题列表

简介
三甲基硅烷或三甲基硅化氢，是一种有机硅化合物。它是一种极易燃的物质。三甲基硅烷用于半导体工业中的等离子相腐蚀剂。
化学性质

三甲基硅烷是具有刺鼻气味的无色液体，其蒸汽比空气重，可能沿地面流动，造成远处着火。

用途
三甲基硅烷((CH3)3SiH)近年来作为半导体领域中的层间绝缘膜、作为成膜原料，其用途逐渐扩大。

图谱信息

图谱信息
三甲基硅烷(993-07-7)核磁图(1HNMR)
三甲基硅烷(993-07-7)ESR图谱
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