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硅化钽

硅化钽, 12039-79-1, 结构式
硅化钽
CAS号:
12039-79-1
英文名:
TANTALUM SILICIDE
英文别名:
TANTALUM SILICIDE;TANTALUM DISILICIDE;tantalum(IV) silicide;TANTALUM (II) SILICIDE;tantalumsilicide(tasi2);TANTALUM SILICIDE: 99.9%;Tantalum disilicide powder;Tantalum disilicide (TaSi2);Tantalum silicide (99.5%-Ta);TANTALUM SILICIDE -230 MESH
中文名:
硅化钽
中文别名:
硅化钽;二硅化钽;二矽化钽;二硅化钽粉;硅化钽 1KG;二硅化钽粉 2 ΜM;钽硅酸盐(TASI2);二硅化钽(99.5%-TA)
CBNumber:
CB1174797
分子式:
Si2Ta
分子量:
237.12
MOL File:
12039-79-1.mol

硅化钽化学性质

熔点:
2200°C
密度:
9,14 g/cm3
形态:
Powder
比重:
9.14
颜色:
gray
电阻率 (resistivity):
8.5 (ρ/μΩ.cm)
水溶解性:
Insoluble in water.
水解敏感性:
1: no significant reaction with aqueous systems
晶体结构:
Hexagonal
稳定性:
Corroded by molten Ni
CAS 数据库:
12039-79-1
EPA化学物质信息:
Tantalum silicide (TaSi2) (12039-79-1)
安全信息
安全说明: 22
WGK Germany: 3
TSCA: Yes

硅化钽性质、用途与生产工艺

概述

金属硅化物有着类似金属的导电性能、高温性能、抗氧化性能和与硅集成电路的生产工艺相容性.过渡金属硅化物可用于低电阻栅门和内连线、肖特基栅、电阻接触。硅化钽制备方法包括:燃烧合成法(combustionsynthesis,CS)或自蔓延高温合成法、电弧熔炼法等。燃烧合成法或自蔓延高温合成法是一种利用元素/化合物反应放热来合成金属间化合物的方法。它具有设备简单、所需能耗低、合成时间短等优点,其主要缺点是反应速度快,过程控制难,容易存在杂相。硅化钽的燃烧合成需要预热才能引发反应实现合成,但存在二硅化物以外的相。电弧熔炼法一般需要较长均匀化时间,同时在熔炼过程中由于挥发造成的硅损失可能导致一些杂相的生成。等离子体喷涂技术因其射流温度高达10000℃,射流速度达300-400m/s,集高温熔化、快速凝固和近净成形等优势于一体,并且该技术不受形状或尺寸限制,易于实现其短流程制备成形,逐渐发展成为一种新型的零部件成形技术,已经被用来制备一些零部件。利用等离子喷涂技术制备将硅化钽粉制成块材,这需要高纯的硅化钽粉末作为原料。因此,如何获得高纯度硅化钽(没有杂相生成)粉末成为关键。

应用

硅化钽具有高熔点、低电阻率、抗腐蚀、抗高温氧化性以及与硅、碳等基体材料具有良好的兼容性等优异性能,作为栅材料、集成电路的连结线路、高温抗氧化涂层等,在电热元件、高温结构部件、电子器件等方面得到了较广泛的研究与应用。

制备

TaSi2粉末制备方法包括如下步骤:将-500目硅粉和-300目钽粉按TaSi2的化学计量比称重。这里为了获得高纯度的产品,需要选用高纯度的硅粉和钽粉,比如纯度99.95或99.99%。选用-500目硅粉与-300目钽粉配合是为了更好地使硅与钽混合均匀,使钽颗粒被硅颗粒包围,有利于在后面燃烧合成的步骤中使硅和钽之间更容易接触反应。使用化学计量配比是为了得到TaSi2相。在都使用-200目或-300目硅粉和钽粉的情况下,难以获得完全的单相TaSi2相粉末,总会少量的Ta5Si3相。使用粒度更小的原料粉末能够使反应更加完全,但这增加粉末氧含量,反而会阻碍合成反应。具体步骤如下:将-500目硅粉23.6克和-300目钽粉76.4克称重;加入占硅粉和钽粉重量0.5克的NH4Cl粉末;将上述粉末球磨,球料比8:1,球磨时间12小时;将球磨后的粉末装入碳化硅坩埚中,放在振动台上振实到相对密度为40%;将装粉末的坩埚装入合成炉中,抽真空后充入氩气,以每分钟20℃升温至650℃,用钨丝通电引燃硅化钽合成反应; 冷却后用氧化锆球和罐破碎得到最终粉末产品,经XRD检测全部为硅化钽相。

硅化钽 上下游产品信息

上游原料

下游产品

硅化钽 试剂级价格

更新日期产品编号产品名称CAS编号包装价格
2024/11/11XW1203979101二硅化钽12039-79-150G1975元
2024/11/08044965二硅化钽
Tantalum disilicide
12039-79-110g661元

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