二氯硅烷
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- CAS号:
- 4109-96-0
- 英文名:
- Dichlorosilane
- 英文别名:
- dichlorsilane;dichloro-silan;DICHLOROSILANE;dichlorosilicon;Silane,dichloro-;DICHLOROSILANE 99;DICHLOROSILANE 97+%;DICHLOROSILANE: 99.5%;siliconchloridehydride;DICHLOROSILANE, 99.9+%
- 中文名:
- 二氯硅烷
- 中文别名:
- 二氯硅烷;三氯矽烷;二氯二氢硅/二氯硅烷;电子级高纯二氯二氨硅
- CBNumber:
- CB8765532
- 分子式:
- Cl2H2Si
- 分子量:
- 101.01
- MOL File:
- 4109-96-0.mol
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二氯硅烷化学性质
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熔点:
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−122 °C(lit.)
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沸点:
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8.3 °C(lit.)
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密度:
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1,22 g/cm3
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蒸气密度:
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3.5 (vs air)
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蒸气压:
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1254 mm Hg ( 20 °C)
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闪点:
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-37°C
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溶解度:
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reacts with H2O
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形态:
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colorless gas
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比重:
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0.76
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颜色:
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colorless gas; flammable
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爆炸极限值(explosive limit):
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99%
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水溶解性:
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decomposes
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水解敏感性:
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9: reacts extremely rapidly with atmospheric moisture - may be pyrophoric - glove box or sealed system required
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稳定性:
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Stable. Extremely flammable; note very wide explosion limits. Reacts violently with water, alcohols, strong oxidizing agents, bases.
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CAS 数据库:
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4109-96-0(CAS DataBase Reference)
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EPA化学物质信息:
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Dichlorosilane (4109-96-0)
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二氯硅烷性质、用途与生产工艺
吸入人体会水解生成盐酸、刺激呼吸系统，引起咳嗽，肺部水肿。吸人二氯二氢硅气体时间较长会引起窒息而死。溅在皮肤上可引起坏死，溃疡长期不愈。
生产人员要穿着密闭型工作服，戴防毒口罩、密闭眼镜、乳胶手套等劳保用品，防止呼吸器官、眼睛和皮肤的直接接触。生产设备要密闭，车间要通风良好。下班后要洗淋浴。
化学性质
无色。易燃。有毒腐蚀性气体，具有刺激性臭味。熔点-122℃。沸点8.2℃。气体相对密度(空气=1)4.599；液体相对密度d
4}-122>。1.42。临界温度176.3℃。蒸气压力(20℃，绝对压)0.15 Mpa。比容积(20℃，1.0133×105Pa)239 mI/g。在空气中爆炸极限1.3％～98％。与水发生剧烈反应。在湿空气中水解，生成盐酸雾。有强腐蚀性。
用途
用于半导体制造中，尤其是外延法工艺作为硅源。
用途
用于电子工业中多晶硅外延生长以及化学气相淀积二氧化硅和氮化硅
生产方法
将硅粉和氯化氢按适当比例进行反应，生成二氯二氢硅，经蒸馏分离三氯氢硅，把得到的二氯二氢硅进行精制，制得电子级高纯二氯二氢硅成品。其
Si+2HCl→SiH2C12
二氯硅烷
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