TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV)
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- CAS-Nr.
- 19782-68-4
- Englisch Name:
- TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV)
- Synonyma:
- TDMAH;amido)hafnium(IV);TDMAH: Hf(N(CH3)2)4;0.2% Zr) TDMAH, PURATREM;Hafnium(4+) dimethylamide;Hafnium tetradimethylamide;Dimethylamine hafnium(4+) salt;TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV);Tetrakis(dimethylamino)hafnium(TDMAHf);(19962-11-9) hafnium tetradimethylamide
- CBNumber:
- CB0501512
- Summenformel:
- C8H24HfN4
- Molgewicht:
- 354.79
- MOL-Datei:
- 19782-68-4.mol
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TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV) Eigenschaften
- Schmelzpunkt:
- 26-29 °C(lit.)
- Siedepunkt:
- 85°C/0.1mm
- Dichte
- 1.098 g/mL at 25 °C
- Flammpunkt:
- 109 °F
- Aggregatzustand
- crystal
- Farbe
- colorless to pale yellow
- Wichte
- 1.40
- Hydrolytic Sensitivity
- 8: reacts rapidly with moisture, water, protic solvents
- Sensitive
- moisture sensitive, store cold
- InChIKey
- ZYLGGWPMIDHSEZ-UHFFFAOYSA-N
- CAS Datenbank
- 19782-68-4
Sicherheit
- Risiko- und Sicherheitserklärung
- Gefahreninformationscode (GHS)
| Bildanzeige (GHS) |
 
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| Alarmwort |
Achtung |
| Gefahrenhinweise |
| Code |
Gefahrenhinweise |
Gefahrenklasse |
Abteilung |
Alarmwort |
Symbol |
P-Code |
| H228 |
Entzündbarer Feststoff. |
Entzündbare Feststoffe |
Kategorie 1 |
Achtung
Warnung |
![GHS hazard pictograms]() src="/GHS02.jpg" width="20" height="20" /> |
P210, P240,P241, P280, P370+P378 |
| H261 |
In Berührung mit Wasser entstehen entzündbare Gase. |
Stoffe und Gemische, die in Berührung mit Wasser entzündbare Gase entwickeln (Kapitel 2.12), Kategorie 2 (Water-react. 2), H261 |
Stoffe und Gemische, die in Berührung mit Wasser entzündbare Gase entwickeln (Kapitel 2.12), Kategorie 2 |
Achtung
Warnung |
![GHS hazard pictograms]() src="/GHS02.jpg" width="20" height="20" /> |
P231+P232, P280, P370+P378,P402+P404, P501 |
| H314 |
Verursacht schwere Verätzungen der Haut und schwere Augenschäden. |
Ätzwirkung auf die Haut |
Kategorie 1B |
Achtung |
![GHS hazard pictograms]() src="/GHS05.jpg" width="20" height="20" /> |
P260,P264, P280, P301+P330+ P331,P303+P361+P353, P363, P304+P340,P310, P321, P305+ P351+P338, P405,P501 |
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| Sicherheit |
| P210 |
Von Hitze, heißen Oberflächen, Funken, offenen Flammen und anderen Zündquellenarten fernhalten. Nicht rauchen. |
| P231+P232 |
Unter inertem Gas handhaben. Vor Feuchtigkeit schützen. |
| P280 |
Schutzhandschuhe/Schutzkleidung/Augenschutz tragen. |
| P305+P351+P338 |
BEI KONTAKT MIT DEN AUGEN: Einige Minuten lang behutsam mit Wasser spülen. Eventuell vorhandene Kontaktlinsen nach Möglichkeit entfernen. Weiter spülen. |
| P370+P378 |
Bei Brand: zum Löschen verwenden. |
| P402+P404 |
An einem trockenen Ort aufbewahren. In einem geschlossenen Behälter aufbewahren. |
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TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV) Chemische Eigenschaften,Einsatz,Produktion Methoden
R-Sätze Betriebsanweisung:
R11:Leichtentzündlich.
R14:Reagiert heftig mit Wasser.
R34:Verursacht Verätzungen.
S-Sätze Betriebsanweisung:
S6:Unter . . . aufbewahren (inertes Gas vom Hersteller anzugeben).
S26:Bei Berührung mit den Augen sofort gründlich mit Wasser abspülen und Arzt konsultieren.
S36/37/39:Bei der Arbeit geeignete Schutzkleidung,Schutzhandschuhe und Schutzbrille/Gesichtsschutz tragen.
S43:Zum Löschen . . . (vom Hersteller anzugeben) verwenden (wenn Wasser die Gefahr erhöht, anfügen: "Kein Wasser verwenden").
S45:Bei Unfall oder Unwohlsein sofort Arzt zuziehen (wenn möglich, dieses Etikett vorzeigen).
Verwenden
Used as precursor for atomic layer deposition of Hafnium Oxide nanolaminates, which are used as a reploacement for Silicon oxide in semiconductor devices.
Allgemeine Beschreibung
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TETRAKIS(DIMETHYLAMIDO)HAFNIUM(IV) Upstream-Materialien And Downstream Produkte
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- 19782-68-4
- 4C2H7NHf
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- C8H28HfN4
- C16H48Hf2N8
- ALD Precursors
