四甲基氢氧化铵所具有的两种特性：（l)分解温度低，分解后变成气体，不会留下残留物；（2)本身是有机强碱，在水中完全电离，金属含量低。四甲基氢氧化铵的特性使其在化工生产及半导体领域中得到了广泛的应用，对的质量和数量都有很高很多的要求:20 % TMAH溶液中氯离子的质量浓度不得超过5 rag/L ，而各种金属离子的质量浓度都 必须小于0. 01mg/L 。
作用
四甲基氢氧化铵主要用在有机硅合成中起催化作用，是打开有机硅环链，使有机硅单体呈链状连接起来形成大分子量聚合物，分子量的大小表现出物质的各种不同特性。而催化剂中的杂质则严重影响有机硅单体的连接，难以控制予定的分子量数，以致影响产品的质量，显然在有机硅合成中对四甲基氢氧化铵所含杂质的要求是很高的。
制备
一种高效四甲基氢氧化铵的制备方法，以碳酸二甲酯与三甲胺为反应物质制成四甲基碳酸氢铵盐，其中碳酸二甲酯∶三甲胺的摩尔比为1~1.5，再用三室两膜电解槽法制备四甲基氢氧化胺；该反应在气、液两相进行，采用釜式单釜生产，其具体操作条件为压力：常压，温度：30~100℃，三甲胺气体空速：50~100kg/h。
本发明的优点在于：离子膜电解法是制备四甲基氢氧化铵比较理想的方法：首先，它的工艺流程较为简单；其次，电解法制备四甲基氢氧化铵产物的质量和纯度均能达到很高的程度，可以满足尖端高科技领域的生产需要；而且，用电解法可以有效的减少工业三废的产生，无污染，生产也相对安全。