硅氮烷是具有Si-N键的胺的硅类似物，是一种具有独特性能的有机化合物，在新材料领域有着广泛的应用，尤其是在半导体工业中的应用。但是，在硅氮烷类化合物合成过程中，反应条件往往十分苛刻，若生产过程中温度、压力控制不当，就可能导致产品中存在较高的杂质。因此，对硅氮烷类化合物纯度的准确分析，是对生产过程的有效控制，也是产品质量控制的重要内容之一。本文将介绍一种利用气相色谱测定六甲基二硅氮烷纯度的方法[1]。
精确确定材料中的杂质含量，测定硅氮烷类化合物的纯度是至关重要的，硅氮烷类纯度分析方法有多种，如色谱法、热分解法、热重分析法等，但色谱法是应用较为广泛的一种方法。采用气相色谱法测定硅氮烷类纯度，分析过程简单，分析速度快。本文根据T/FSI 012-2017的方法，经过检测条件的优化，建立了GC-4100气相色谱仪检测六甲基二硅氮烷纯度的方法。实验条件见下图。
实验过程中，使用了面积归一法定量。本文实验表明，该方法操作简单、线性及重复性良好，测试结果准确，可以满足硅氮烷类化合物的纯度测定需求，供相关人员参考。