背景及概述
硫鎓盐类光产酸剂因其较高的产酸效率和好的热稳定性而广泛应用于化学增幅光致抗蚀剂中。三苯基氯化硫盐是此类化合物的代表性物质。三苯基氯化硫盐分子中硫鎓盐阳离子可以采用二苯基亚砜和苯基氯化镁，通过格式反应制备。以下是关于三苯基氯化硫盐的性质、用途、制法和安全信息的简要介绍。
性质
三苯基氯化硫盐在常温常压下为无色至白色结晶固体，可溶于有机溶剂如乙醚和二氯甲烷。三苯基氯化硫盐具有刺激性气味，并且在湿气中容易分解。常以三苯基氯化硫盐的50%水溶液形式存在。
用途
三苯基氯化硫盐在有机合成中常被用作亲电氯化试剂。它可以与酮、醛、酸和酰卤等化合物发生反应，将其氯代成相应的亲电簇基化合物。三苯基氯化硫盐作为一种新型光致产酸剂，在集成电路、半导体工业中248nm及以下深紫外光致抗蚀剂中得到广泛应用。 此外，三苯基氯化硫盐还可以作为自由基、阳离子聚合的引发剂。
制法
三苯基氯化硫盐的制备方法通常是通过将苯基磺酰氯与三苯基胺在氯化氢气氛中反应得到。具体来说，将苯基磺酰氯与三苯基胺溶于无水氯化氢中，加热反应后得到三苯基氯化硫盐。也可通过二苯基亚砜与苯基氯化镁反应制备得到三苯基氯化硫盐[1]，其合成反应式如下图所示：
图1 三苯基氯化硫盐合成反应式
安全信息
三苯基氯化硫盐属于刺激性化合物，接触皮肤、眼睛或吸入可能引起刺激。在操作时，应戴上适当的防护手套和眼镜。该化合物也是易燃物质，应远离火源和高温环境。在储存过程中，应将其保存在干燥、阴凉处，避免与湿气接触。
参考文献
[1]SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.Patent: US2007/298352 A1, 2007 ;