碲化锗的主要应用

2020/10/20 9:12:51

背景及概述[1]

从上世纪六十年代起,GeTe化合物因其优异的热电性能受到研究者广泛的关注。

结构[1]

图1-4(a)中二元相图显示在720℃时通过熔融法可以得到β-GeTe,GeTe(l)→β-GeTe(s)。β-GeTe是NaCl型的岩盐晶体结构(空间群:Fm3m),a轴的晶胞参数为6.009Å。因为在430℃时,β-GeTe→α-GeTe+Ge(s),所以进一步降温可以得到α-GeTe。α-GeTe为菱方相,晶胞参数为a=b=4.164Å,c=10.690Å,空间群为R3m。由于热应力的作用使得Ge原子从(1/2,1/2,1/2)重排至(1/2-x,1/2-x,1/2-x),因此在400℃~430℃左右,β-GeTe→α-GeTe,同时Ge原子会逐渐沿着体对角线移动,使得晶胞整体角度偏离1.65°。每个Ge原子和Te原子之间形成6个化学键,其中包括三个短键(2.83Å)和三个长键(3.15Å)。最近的一些研究比如X射线吸收精细结构谱EXAFS和对分布函数分析PDF显示,GeTe中的铁电相变是有序-无序相变而不是Ge原子和Te原子互相调换顺序。α-GeTe是畸变的岩盐结构,在晶胞中Te原子占据阴离子4a位置,Ge原子占据阳离子4b位置,整个晶体采用ABCABC的方式沿着方向堆积。晶格畸变是沿着方向,这会导致非对称八面体的形成,在八面体中每个Te原子被3个较近的Ge原子(2.85Å)和3个较远的Ge原子(3.26Å)包围,这个EXAFS的结果一致(2.80Å和3.13Å)。图1-4(d)是立方相GeTe的能带结构,Te原子因为其较高的电负性(χTe=2.10)形成价带,而Ge原子(χGe=2.01)形成导带。在立方的GeTe中,导带的最小值和价带的值均出现在Г点,禁带宽度为.243eV。在PbTe和SnTe中,轻重价带之间的能量间隙分别为0.17eV和0.35eV,因此在PbTe中第二价带相对来说更容易参与导电。在GeTe中,轻重价带的能量间隙为0.27~0.38eV。GeTe为窄禁带p型简并半导体,有较大的载流子迁移率(100-200cm2V-1s-1和载流子有效质量(~1021cm-3),这导致了GeTe化合物有高的电导率。GeTe中由于存在Ge空位通常会形成Te富集相,因此本征样品具有较高载流子浓度。在300K时,GeTe的Seebeck系数(~34μVK-1)较低,热导率(8Wm-1K-1)很高,这是因为其高的载流子浓度导致高的电子热导率。GeTe在720K时的ZT值约为0.8,通过掺杂和固溶能大幅度提高本征GeTe的热电性能。。

应用[2-4]

碲化锗应用举例如下:

1)制备一种二维材料碲化锗:包括以下步骤:(1)称取一定量的碲化锗粉末加入有机溶剂中,混合均匀,其中碲化锗粉末的质量份数与有机溶剂的体积份数比为(2?100):(5-100),其中质量份的单位为mg,体积份的单位为mL;(2)将步骤(1)中混合均匀的溶液放入细胞粉碎机,进行超声处理;(3)对超声后的碲化锗分散液进行离心处理,取灰黑色的上层清液,二维材料碲化锗分散在上层清液中。本发明的有益效果是:制备方法简单易行,操作简单。

2)制备相变存储器单元,采用吸附有金纳米颗粒的衬底,以由锡粉末和碲化锗粉末组成的混合物作为蒸发源,将上述蒸发源与衬底置于水平管式炉内,在一定的条件下进行化学反应,得到沉积有锡掺杂碲化锗纳米线的衬底,将上述衬底上的锡掺杂碲化锗纳米线迁移至2英寸SiO2/Si表面各个小金属框的中心处,烘干;再分别采用紫外光刻、磁控溅射技术和剥离技术得到所述相变存储器单元,即锡掺杂碲化锗纳米线两端电极器件,上述相变存储器单元通过对相变材料掺杂锡粉末进行改性,从而提高了相变材料的电阻率,降低了相变材料的熔点,从而有效降低相变材料的操作功耗。另外,本发明还提供了一种相变材料及相变存储器单元。

3)制备一种光刻用硫化物半导体掩膜,其特征在于所述的硫化物半导体掩膜的材料为碲化锗,锗锑碲,银铟锑碲,碲化锑或锑。本发明硫化物半导体掩膜材料由于材料的三阶非线性效应,能大大减小光斑或者刻蚀线宽,刻蚀点或刻蚀线宽是光斑衍射极限的1/3-1/6,比采用金属铟(In)(60%)的效果更明显,同时需要的激光功率也大大降低。

主要参考资料

[1] 碲化锗基化合物的结构及其热电性能研究

[2] CN201710444137.X一种二维材料碲化锗的制备方法

[3] CN201410075734.6相变存储器单元的制备方法、相变材料及相变存储器单元

[4] CN200410093319.X光刻用硫化物半导体掩膜

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