三氟化氯
中文名称 | 三氟化氯 |
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中文同义词 | 三氟化氯 |
英文名称 | Chlorine trifluoride |
英文同义词 | CHLORINE TRIFLUORIDE;Chlorine trifluoride ISO 9001:2015 REACH;Trifluoride chlorine |
CAS号 | 7990-91-2 |
分子式 | ClF3 |
分子量 | 92.45 |
EINECS号 | |
相关类别 | |
Mol文件 | 7990-91-2.mol |
结构式 | ![]() |
三氟化氯 性质
三氟化氯(ClF3)因其独有的化学结构,化学活性倾向于氟却比氟温和许多,而比氟碳化合物更为环保,它的GWP值为零,被视为理想的LPCVD清洗气体,日本关东化学、中央旭硝子、岩谷产业早在2010年就已规模化生产出高纯ClF3产品。由于ClF3化学性质过于活泼,其安全性仍然存在一些争议。我国ClF3尚未见产业化报道,中船重工718所曾在2014年申请三氟化氯制备技术专利。三氟化氯(ClF3)是一种很强氧化剂和氟化剂。它能大多数有机和无机材料甚至塑料反应,可以使许多材料不接触火源就燃烧。这些反应通常很剧烈,在某些情况下甚至会爆炸。
它与一些金属反应生成氯化物和氟化物,与磷反应生成三氯化磷和五氟化磷,而与硫反应生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3也与水剧烈反应,水解产生有毒物质,例如氟化氢。H2S在室温下与ClF3混合就会爆炸。
![三氟化氯 分子结构](https://www.chemicalbook.com/NewsImg/2020-11-25/2020112510174051411.jpg)
能够超越氧气的氧化能力导致对含氧材料的腐蚀性,这些材料通常被认为不可燃的。
在一工业意外中,900 kg的ClF3泄漏把自身烧通30厘米的混凝土和90厘米的砾石。任何和三氟化氯接触的设备,必须仔细挑选和清洁,因为任何污染可以点燃接触物。
三氟化氯平时是装在金属容器里面的,这几乎算是唯一能暂时控制它的方法了,只要预先经过处理形成了金属氟化物保护层,它在一些常见金属制成的容器里面还可以保持安稳。
因为三氟化氯活泼的化学性质,任何接触它的设备都必须经过仔细的清洁以及保证气密性。不幸中的万幸,它会立刻和容器内壁反应生成不再参与反应的氟化物,从而我们可以方便地贮存。三氟化氯(CIF3)是一种用于清洗化学气相沉积腔室及其管道清洗的重要的电子特气。与其他含氟气体(如NF3、C2F6和CF4)不同,三氟化氯在室温下就能够与半导体材料进行反应,因此它可以清洗冷壁CVD腔室。用三氟化氯进行清洗是一种化学刻蚀过程,腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应,不存在等离子体那样的高能离子轰击过程,对设备的损坏可以降低到最低限度。相比等离子裂解制氟工艺,三氟化氯清洗工艺简单而高效,且清洗效果更好。
它与一些金属反应生成氯化物和氟化物,与磷反应生成三氯化磷和五氟化磷,而与硫反应生成二氯化硫和四氟化硫。ClF3也与水剧烈反应,水解产生有毒物质,例如氟化氢。H2S在室温下与ClF3混合就会爆炸。
![三氟化氯 分子结构](https://www.chemicalbook.com/NewsImg/2020-11-25/2020112510174051411.jpg)
能够超越氧气的氧化能力导致对含氧材料的腐蚀性,这些材料通常被认为不可燃的。
在一工业意外中,900 kg的ClF3泄漏把自身烧通30厘米的混凝土和90厘米的砾石。任何和三氟化氯接触的设备,必须仔细挑选和清洁,因为任何污染可以点燃接触物。
三氟化氯平时是装在金属容器里面的,这几乎算是唯一能暂时控制它的方法了,只要预先经过处理形成了金属氟化物保护层,它在一些常见金属制成的容器里面还可以保持安稳。
因为三氟化氯活泼的化学性质,任何接触它的设备都必须经过仔细的清洁以及保证气密性。不幸中的万幸,它会立刻和容器内壁反应生成不再参与反应的氟化物,从而我们可以方便地贮存。三氟化氯(CIF3)是一种用于清洗化学气相沉积腔室及其管道清洗的重要的电子特气。与其他含氟气体(如NF3、C2F6和CF4)不同,三氟化氯在室温下就能够与半导体材料进行反应,因此它可以清洗冷壁CVD腔室。用三氟化氯进行清洗是一种化学刻蚀过程,腔室的热量足以使其分解并与半导体材料反应,不存在等离子体那样的高能离子轰击过程,对设备的损坏可以降低到最低限度。相比等离子裂解制氟工艺,三氟化氯清洗工艺简单而高效,且清洗效果更好。
安全信息
危险品运输编号 | UN 1749 2.3 |
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危险等级 | 2.3 |