三氟化氮 无色,无味,不燃烧,腐蚀性的有毒气体。 应用 半导体生产:清洗CVD反应器。 分子量 71.0 比重 (Air = 1) 2.46
比容 0.34m3/kg@21.1ºC, 101.325kPa
气味 纯气无味,但其中杂质使他闻起来有发霉的味道。 CAS Registry No. 7783-54-2
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