别名
N-Hydroxynaphthalimide trifluoromethanesulfonate,HNT,NHN-TF
溶解性
PGMEA: 1%ethyl lactate: <1%γ-butyrolactone: ~2%
一般描述
N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸 (HNT) 是一种光致酸产生剂 (PAG) ,其在紫外光辐射时形成酸,可用于生成图案化结构。它还可用于通过形成酸键而调节聚合物的溶解性。
应用
HNT可用于形成图案化纳米粒子,其有望用于半导体设备的大规模制造。它还可用于沸石的光反应性孔重开,其可促进气体渗透过程的调节。以HNT为PAG可以形成紫外辐照的三甲基甲硅烷基超薄纤维素膜。
Sigma-Aldrich西格玛奥德里奇(上海)贸易有限公司
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