储存条件2-8°C
溶解度在PGMEA中的溶解度为1%
形态粉末晶体
颜色白色至浅黄色至浅橙色
概述N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯(HNT)是一种光酸发生器(PAG),在紫外线照射下形成酸,可用于生成图案结构。它还可以通过形成酸键来调节聚合物的溶解度。
用途N-羟基萘酰亚胺三氟甲磺酸酯可以用来形成有图案的纳米颗粒,在半导体器件的体积制造中找到潜在的应用。它还可用于沸石的光响应性孔重开,有利于气体渗透过程的调节。紫外辐照三甲基硅基超薄纤维素基薄膜可以在HNT存在下形成PAG。
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