高纯二氯二氢硅(DCS)
产品描述:
二氯二氢硅包装采用316L不锈钢制作,容积有10L、47L二种规格,分别充装10KG,40KG产品;阀门为CGA678/CGA636规格,还可根据用户特殊要求提供不同包装和接口。
技术数据表:
气体名称
二氯二氢硅 (SiH2Cl2)
成分或杂质名称
产品指标
纯度
≥99.9%
电阻率
≥400 ohm.cm
其他氯硅烷
≤1000 ppm/w
碳(C)
≤0.03 ppm/w
施主杂质(砷As,磷P)
≤0.08 ppb/w
硼(B)
≤0.01 ppb/w
铁(Fe)
<2 ppb/w
镍(Ni)
≤0.2 ppb/w
铬(Cr)
≤2 ppb/w
安徽艾约塔硅油有限公司
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潘经理