高纯四氯化硅 (TET)
四氯化硅不锈钢瓶采用316L不锈钢制作的高洁净容器,容积有45L、250L、900L三种规格,阀门为1/2"、1/4”VCR接口阀门,三种规格容器可分别充装45kg、300kg和1000kg产品,还可根据用户需求提供不同包装和接口。
产品指标:
气体名称
SiCl4
成分或杂质名称
产品指标
纯度
≥99.9999%
电阻率
≥500 ohm.cm
其他氯硅烷
<1ppm/w
碳
<0.2ppb/w
施主杂质(砷As、磷P)
≤0.08ppb/w
硼(B)
≤0.1ppb/w
铁(Fe)
<2ppb/w
镍(Ni)
≤2ppb/w
铬(Cr)
≤1ppb/w
安徽艾约塔硅油有限公司
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潘经理