甲基硅烷(MS)
使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格,阀门为CGA660/CGA350/CGA634,不同容积的容器均按充装系数0.25kg/L包装产品,还可根据用户需求提供不同包装和接口。
产品指标:
材料级甲基硅烷
气体名称
Methylsilane(CH,SiH,)
成份/杂质名称
产品指标
甲基硅烷
≥99.5 %
不凝气杂质(N,,Oz+Ar,CO,CH)
≤0.2%
硅烷
氯硅烷
≤0.1%
电子级甲基硅烷
Methylsilane(CH3SiH3)
SiH3CH3
>99.98%(不含其他甲基硅烷)
N2
≤10ppm/v
Ar+O2
≤2ppm/v
CO2
CH4
≤50ppm/v
SiH4
Other Methylsilanes
Chlorosilanes
安徽艾约塔硅油有限公司
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潘经理