三甲基硅烷(3MS)
使用经过内壁镜面抛光、钝化处理的碳钢瓶。容积有10L、47L二种规格,阀门为CGA660/CGA350/CGA634,两种规格容器可分别充装3KG和15KG产品,还可根据用户需求提供不同包装和接口。
技术指标
材料级三甲基硅烷
成分/杂质名称
产品指标
三甲基硅烷
≥99.5 %
不凝气杂质(N2, O2+Ar,CO2, CH4)
≤1.0 %
硅烷
≤0.5 %
氯硅烷
电子级三甲基硅烷
( CH3)3SiH
≥99.99%(不含其他甲基硅烷)
N2
≤10 ppm/v
O2+Ar
≤2ppm/v
CO2
≤5ppm/v
CH4
SiH4
Other Methylsilanes
≤300 ppm/v
Chlorosilanes
安徽艾约塔硅油有限公司
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潘经理