中文名:五(二甲氨基)钽(V)
英文名:Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)
中文别名:钽二甲基胺
英文别名:19824-59-0|Pentakis(dimethylamino)tantalum(V)|Tantalum, pentakis(dimethylamino)-|dimethylazanide;tantalum(5+)|dimethyl[tetrakis(dimethylamino)tantalio]amine|Methanamine, N-methyl-, tantalum(5+) salt (5:1)|Pentakis(dimethylamino)tantalum|Ta(NMe2)5|MFCD0163
纯度:99.99% metal basis
货号:P283060
包装:1g、25g、5g
Cas号:19824-59-0
存储温度:充氩
产品介绍:
氮化钽 (TaN) 薄膜的挥发性固体 CVD 前体。当在沉积过程中存在 O2、H2O、NO 或 H2O2 时,还会形成氧化钽 (Ta2O5) 薄膜。 Ta2O5 薄膜作为集成电路制造中的栅电介质材料具有广阔的应用前景。
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