四氟化钛 氟化钛(IV) 微电子工业刻蚀剂

中文名四氟化钛

外文名Titanium tetrafluoride

别    名Titanic fluoride、tetrafluoride、titanium(4+) tetrafluoride、Titanium(IV) Fluoride

分子量123.87

CAS登录号7783-63-3

EINECS登录号232-017-6

熔    点377 ℃

水溶性溶于冷水中分解

密    度2.7982 g/cm³

化学性质 

四氟化钛为有吸湿性的白色粉末，相对密度2.798，熔点284℃，常压下284℃即升华。易溶于水并分解，不溶于乙醚。在100℃时与硅氯仿反应生成硅氟仿。可与某些胺类及吡啶等形成加合物。四氟化钛在微电子工业中用作刻蚀剂、在石化行业中用作催化剂

用途 

用于成膜材料及离子注人掺杂。在微电子工业上用于化学气体沉积，以制作低电阻、高熔点的互连线。

四氟化钛呈白色粉末，其可与干燥的气体如O₂、N₂、CO、CO₂、HCl、SO₃、CS2等都不反应。在微电子工业中用作化学气相沉积或离子注入形成硅化钛或钛膜，制作低电阻、高熔点的电路互联线和栅极。