镍蚀刻剂 TFB 用于蒸发镍薄膜上的标准镍蚀刻剂
镍蚀刻剂 TFG 用于蚀刻电沉积镍薄膜的高纯蚀刻剂。镍蚀刻剂 TFG 与铜、砷化镓以及其他III
-V化合物相匹配。 用于蚀刻镍、镍-铁合金和不锈钢的高纯蚀刻剂
特点 ·廉价经济
·与阳性、阴性光刻胶都相匹配 ·线条轮廓清晰 ·蚀刻速率均匀
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镍蚀刻剂I型
说明
Transene 薄膜蚀刻剂(镍 TFB 和镍 TFG)是高纯硝酸盐基蚀刻剂用于蚀刻蒸发或
电镀镍膜,镍蚀刻剂与阴、阳性光刻胶材料都具有良好匹配性。建议使用的光刻胶为 AZ-111,AZ-1350OH 和 KMER。镍蚀剂用于蚀刻金、镍、镍铬膜以制作电阻板。镍蚀刻 剂 TFG 与铜相匹配。
性质
蚀刻剂
TFB
TFG
操作温度
25°C
40°C
蚀刻速率
30 Å /秒
50 Å /秒
镍沉积法
蒸发/阴极溅镀
化学镀/电镀
蚀刻能力
270g/加仑
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典型膜厚
1500 Å /5-50微英寸
罐
玻璃
应用 镍蚀刻剂是浸泡型购来马上可用的蚀刻剂,蚀刻速率通过操作温度加以控制。镍
通常在氧化铝基板上夹于金和镍铬或铬之间,对蒸发法或化学镀制的镍都适用。实际 蚀刻时要根据膜厚和操作温度控制蚀刻时间,不过对于蒸发法镍一般是 1 分钟,而对 于化学镀镍是 4 分钟。蚀刻过后应用水冲洗
说明 I型镍蚀刻剂是用于蚀刻镍、镍-铁合金、铁、氧化铁以及某些种不锈钢的高纯
蚀刻剂,他也可以蚀刻铜。和广范围光刻胶包括 KPR、Dynachem、AZ、 Riston 以及 屏幕光刻胶,都相匹配。I型镍蚀刻剂含有金属螯合剂成份以优化其性能。它不浸蚀 金膜。 性质
30-60°C
冲洗
水
蚀刻速率,Ni
3 密耳/小时,40°C
蚀刻速率,Ni-Fe
400 Å /秒,50°C
蚀刻速率,不锈钢
45 Å /秒,250°C AISI 316 105 Å /秒,130°C AISI 316 500 Å /秒,45°C AISI 304
蚀刻速率,Fe2O3
50 Å /秒,50°C
蚀刻速率,Cu
1 密耳/分,40°C
搅拌
连续搅拌,中等速度
应用 I型镍蚀刻剂在较高温度,一般是 30-60°C操作。为了得到均匀蚀刻效果,一般
要进行连续搅拌。I型镍蚀刻剂可以蚀刻一系列金属,金属合金,和金属氧化物材料。
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