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六氟乙烷

六氟乙烷, 76-16-4, 结构式
六氟乙烷
CAS号:
76-16-4
英文名:
Hexafluoroethane
英文别名:
r116;C2F6;f116;R-116;R 116;F-116;PFC116;FC-116;FC1160;CFC-116
中文名:
六氟乙烷
中文别名:
六氟乙烷;全氟乙烷;R116全氟乙烷;六氟乙烷 R116;六氟乙烷/C2F6/R116
CBNumber:
CB5123920
分子式:
C2F6
分子量:
138.01
MOL File:
76-16-4.mol

六氟乙烷化学性质

熔点:
−100 °C(lit.)
沸点:
−78 °C(lit.)
密度:
1,607 g/cm3
蒸气密度:
4.7 (vs air)
蒸气压:
430 psi ( 21 °C)
折射率:
1.2060
InChIKey:
WMIYKQLTONQJES-UHFFFAOYSA-N
CAS 数据库:
76-16-4(CAS DataBase Reference)
EPA化学物质信息:
Hexafluoroethane (76-16-4)
安全信息
危险品标志: Xi
安全说明: 38
危险品运输编号: UN 2193 2.2
WGK Germany: 3
RTECS号: KI4110000
Hazard Note: Irritant
TSCA: T
危险等级: 2.2
海关编码: 2903392820
毒害物质数据: 76-16-4(Hazardous Substances Data)

六氟乙烷 MSDS


六氟乙烷

六氟乙烷性质、用途与生产工艺

简介

六氟乙烷在微电子工业中用于等离子蚀刻及表面清洗。六氟乙烷一直是Kanto Denak公司和另两家日本公司的样品。Kanto Denka Kogyo公司计划在下一财政年度大规模工业化生产六氟乙烷,该产品作为下一代清洁气体用于高集程度的半导体生产。六氟乙烷作为半导体氧化膜的超细清洁气体正日益引起人们的关注,并在2001开始用于生产。就是先使用的八氟丁烷作为蚀刻剂而言,当接触到孔径为140纳米或更小的元件时八氟丁烷无法起到蚀刻作用。

应用

六氟乙烷ODP值(臭氧层破坏潜能值)为零,GWP值(温室效应能力)为9200.主要应用在低温制冷与电子清洗及蚀刻行业,另外少部分应用在医学手术中及其它新开发的领域。

制备

氟气或氮气和氟气的混合气体、四氟乙烯从不同的进料口进入温度为l0-60℃、压力为0.1~0.15 MPa的反应器中,控制气体在反应器中的空速为0.2-10min,进行反应,得到的部分反应产物在反应器出口端通过反应器外接循环设备离心风机循环返回反应器进口端,与通过进料口进来的氟气或氮气和氟气的混合气体以及四氟乙烯混合后进入反应器,循环反应;得到的另一部分反应产物直接从出料口出来,得到所述六氟乙烷。该发明所述方法工艺简单、反应条件温和、反应器价格便宜;所制备的六氟乙烷含量高、杂质含量低、收率高。

化学性质

六氟乙烷化学式C2F6,纯度>99.7%,为无色、无臭、无味、不可燃的惰性气体。微溶于水,熔点-100.6℃,沸点-78℃,液体密度1.60g/ml。

应用

六氟乙烷ODP值(臭氧层破坏潜能值)为零,GWP值(温室效应能力)为9200.主要应用在低温制冷与电子清洗及蚀刻行业,另外少部分应用在医学手术中及其它新开发的领域。

生产方法 

以活性炭与氟为原料,在装有活性炭的反应炉中缓慢通入高浓氟气,通过控制电加热,供氟速率和冷却反应炉来控制反应温度。反应产物经过除尘、碱洗、脱水后,可获得含CF4、C2F6、C3F8的粗品,然后把粗品混合物进行间歇低温精馏,提取C2F6,再用分子筛进一步进行 低温吸附脱水,可获得纯度大于99.7%的C2F6。

类别

压缩气体和液化气体

毒性分级

低毒

急性毒性

吸入-大鼠 LC: 20000 PPM/2小时

储运特性

库房通风低温干燥; 与易燃物分开存放

灭火剂

六氟乙烷 上下游产品信息

上游原料

下游产品


六氟乙烷 生产厂家

全球有 85家供应商   六氟乙烷国内生产厂家
供应商联系电话电子邮件国家产品数优势度
上海辰楚化学有限公司 13651748127 2684615189@qq.com 中国 149 58
上氟科技 021-65170832 15601903708 qinba_2@163.com 中国 288 58
安耐吉化学&3A(安徽泽升科技有限公司) 021-021-58432009 400-005-6266 sales8178@energy-chemical.com 中国 44732 61
南京维奥化工有限公司 Please Send Email 18652950785 chemweiao@163.com 中国 4378 65
Shanghai Witofly Chemical Co.,Ltd sales@witofly.com 中国 2864 52
上氟科技 021-65170832 15601903708 qinba_1@163.com 中国 376 60
南京维奥化工有限公司 025-87193546 18652950785 chemweiao@163.com 中国 9021 60
上海众巍化学有限公司 18824865657 2684615189@qq.com 中国 427 58
奥博瑞(天津)科技有限公司 022-65675308 18310521067 23034325@qq.com 中国 100 55
淄博泽诺医药科技有限公司 0533-8800999 13515338377 zenuoyiyao@163.com 中国 55 58
武汉纽瑞德特种气体有限公司 027-82652715 18986267605 2850590615@qq.com 中国 164 58
上海宇极赛氟科技有限公司 021-62456266 18160932530 chem@yujigroup.com 中国 65 58
Allfluoro pharmaceutical co. ltd. +86-400-0216110 +86-15958047586 sales@allfluoro.com 中国 11385 58
ANHUI WITOP BIOTECH CO., LTD +8615255079626 eric@witopchemical.com 中国 23541 58
Hefei TNJ Chemical Industry Co.,Ltd. +86-0551-65418671 +8618949823763 sales@tnjchem.com 中国 34563 58
VladaChem GmbH +49-7246-3082843 info@vladachem.de 德国 1859 58
CD Chemical Group Limited +8615986615575 info@codchem.com 中国 20342 58
厦门志信化学有限公司 +86-13806087780 sale@simagchem.com 中国 17357 58
湖南秉航新材料有限公司 +86-0731-85567275 18932438858 sales05@chemfish.com 中国 6710 58
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武汉市聚舜化工有限公司 027-02783261126 18971318572 2969475037@qq.com 中国 4952 58
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济南氟泽新材料有限公司 00-15169181281 15169181281 15169181281@163.com 中国 235 58
河南天孚化工有限公司 +86-0371-55170693 +86-19937530512 info@tianfuchem.com 中国 21628 55
career henan chemical co +86-0371-86658258 +8613203830695 sales@coreychem.com 中国 29857 58
厦门盈融达化工有限公司 +86-0592-6210733 sale@mainchem.com 中国 32343 55
SUZHOU SENFEIDA CHEMICAL CO.,LTD +86-0512-83500002 +8618501500038 3899766280@qq.com 中国 26362 58
XIAMEN AMITY INDUSTRY AND TRADE CO., LTD. +8618950047208 ellena@amitychem.com 中国 43416 58
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河南丰达化工有限公司 +86-371-86557731 +86-13613820652 info@fdachem.com 中国 20232 58
上海丽康新材料有限公司 +86-16631818819 +86-17736933208 3684455296@qq.com 中国 9300 58
陕西缔都医药化工有限公司 +86-89586680 +86-13289823923 1026@dideu.com 中国 8797 58
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