三乙基硅烷是一种无色透明的有机硅中间体。易水解，放出乙醇，生成相应的缩合物。也可由硅粉在铜催化剂存在下，与乙醇反应来制取。它可用来合成有机硅中间体及各种硅烷偶联剂，也可以通过岐化反应制备高纯硅烷气体，或者用于制备有机无机杂化材料。三乙基硅烷有毒,存储过程中需要防潮。
性质与稳定性
1.在碱水作用下，分子内的Si-H键断裂，放出氢气，生成三乙基硅醇。与烷基锂反应，Si-H键中的氢原子被烷基取代。与烷氧基锂反应，生成三乙基烷氧基硅烷。三氯化铝存在下，与氯化氢反应，生成三乙基氯硅烷。在铂催化剂作用下，可与链烯烃发生加成反应。
2.对酸、碱和湿气敏感，与湿气接触会放出氢气。建议在干燥条件下储存和在通风橱中使用。
贮存方法
常温，-20°C（长期保存），密闭，避光，通风干燥处。
合成方法
1. 可由三乙基氯硅烷用氢化锂或四氢锂铝还原来制取。
2. 在5升三颈烧瓶上安装高效搅拌器、滴液漏斗和大管冷凝器。后者连干冰和丙酮冷却的冷阱。用此瓶制成乙基溴化镁(12.6摩尔)的乙醚溶液。在冷却和剧烈搅件下向其中滴加406. 5克（30摩尔)三氯氢硅溶于1200毫升无水乙醚溶液。加料约需6小时。反应混合物在室温搅拌8小时，然后加热回流1小时。用20塔板柱蒸馏除去乙醚，残余物在蒸汽浴上加热10小时。加180毫升水并搅拌使之水解，然后加372毫升浓盐酸，分出水层，用2份500毫升乙醚萃取。将乙醚萃取液与产物合并，用水洗涤，然后在150克无水碳酸钾上干燥2小时，经4塔板柱分馏，得27.03克(77.5%)三乙基硅烷。
用途
1.用来合成有机硅化合物。
2.三乙基硅烷在有机合成中具有非常广泛的用途，是常见的重要合成试剂之一。它通常被定义为温和的还原试剂。
三乙基硅烷最常用的功能是与含有不饱和键的化合物发生氢-硅化反应。它参与的氢-硅化反应可以受到多种金属的催化，产物的结构主要受到催化剂类型和底物结构的影响。到目前为止，人们仍然在该反应的区域选择性和立体选择性研究上投入大量的工作。例如：在末端炔烃的氢-硅化反应中，有的催化剂能够选择性地得到马氏加成产物，有的则得到反马氏加成产物；有的得到顺式产物，有的则以反式产物为主。