三(二甲胺基)硅烷新闻专题
![三(二甲胺基)硅烷的制备](/NewsImg/2022-10-14/6380136571741523639508648.jpg)
三(二甲胺基)硅烷的制备
相关的研究表明,三(二甲胺基)硅烷作为前驱体源不仅具有较好的稳定性、较高的蒸汽压,而且表现出了相当高的反应性,所以这种有机硅源成了目前ALD方法沉积SiO2研究的热点。
2022/10/14 17:34:28
阅读量:446